当废气进入到UV光氧催化器内部时，需通过较长的通过时间，需1.5S，经过紫外线的照射，使废气分子分解，发生化学反应，物质在紫外线照射下吸收光线当中携带的能量成激发态，从而发生一系列光化学反应，最终变成无害的低分子化合物，实现低污染排放。

当激发态分子的能量足够使分子内的化学键断裂时，只有激发能量大于化学键能时，才会让化学键发生光离解反应。其次，为使分子产生有效的光化学反应，光还必须被所作用的分子吸收，即分子对某种特定波长的光要有特征吸收光谱，才能产生光化学反应。